>專為 EUV製程所開發的產品。
B-Cool Eltec 502
由瑞士巴索技術中心生產的釋氣cube。致力於安全可靠的產品和製程研發。- Andreas Neumann, Segment Manager Electronics, Blaser Swisslube AG
滿足品質控制及生產之要求
符合清潔度之要求
- 出色的鋁相容性-即使是Al 5083
- 配方不含 P、Si、Sn 和 Zn 等 關鍵HIO 元素
- 礦物油含量低,助於符合 RGA 規格數值
優化機台操作
- 優良的機台相容性
- 出色的潤洗特性,保持工件和機台乾淨
- 適用於軟水和硬水
專為 EUV製程所開發的配方
表面: 即使是敏感的鋁合金也可保證
完美無瑕
釋氣: 有助於符合RGA分析儀規格數值
XPS: 無關鍵的 HIO 元素